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[00100648]耐深紫外激光辐照特种玻璃

交易价格: 面议

所属行业: 无机非金属材料

类型: 非专利

技术成熟度: 正在研发

交易方式: 技术转让

联系人: 厦门大学

进入空间

所在地:福建厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

一、项目名称   耐深紫外激光辐照特种玻璃   二、技术概况   耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。   ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。   F2准分子激光157nm的透过率大于80%。   ArF、F2深紫外激光辐照时,玻璃不产生结构缺陷,不发出红色荧光。   技术成熟度:   掌握了控制性能的关键技术。   除了纯度以外,H、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。   三、产品用途和市场   深紫外光刻、光制导等   四、主要设备和总投资   根据要求形状以及尺寸,投产条件不同。   五、项目可供转让其他需要说明的情况   各种研发合作方式。欢迎洽谈。
一、项目名称   耐深紫外激光辐照特种玻璃   二、技术概况   耐ArF、F2深紫外激光辐照特种石英玻璃。   ArF准分子激光193nm的透过率大于90%。   F2准分子激光157nm的透过率大于80%。   ArF、F2深紫外激光辐照时,玻璃不产生结构缺陷,不发出红色荧光。   技术成熟度:   掌握了控制性能的关键技术。   除了纯度以外,H、H2含量范围、均匀性的控制及其关键技术。   三、产品用途和市场   深紫外光刻、光制导等   四、主要设备和总投资   根据要求形状以及尺寸,投产条件不同。   五、项目可供转让其他需要说明的情况   各种研发合作方式。欢迎洽谈。

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