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[00233067]一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法

交易价格: 面议

所属行业: 钒钛新材料

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:ZL201410124720.9

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 马女士

进入空间

所在地:辽宁沈阳

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述

技术详细介绍

  本专利技术介绍了一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法。

  氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法依次包括:1、沉积技术及靶材成分的确定;2、基体工件的选择与前处理;3、基体工件悬挂方位的确定;4、真空加热处理;5、预轰击工艺的确定;6、沉积工艺的确定。氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法提高了膜层与基体之间的附着力,同时提高了膜层硬度,并具有良好的稳定性和可重复性。
  本专利技术介绍了一种氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜的制备方法。

  氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法依次包括:1、沉积技术及靶材成分的确定;2、基体工件的选择与前处理;3、基体工件悬挂方位的确定;4、真空加热处理;5、预轰击工艺的确定;6、沉积工艺的确定。氮氧钛铝/氮化钛铝/钛铝复合膜制备方法提高了膜层与基体之间的附着力,同时提高了膜层硬度,并具有良好的稳定性和可重复性。

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